Was ist der Herstellungsprozess von TFT-LCD-Flüssigkristallbildschirmen?

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Zu den industrialisierten TFT-Typen gehören: amorpher Silizium-TFT (a-Si-TFT), polykristalliner Silizium-TFT (p-Si-TFT) und Einkristall-Silizium-TFT (c-Si-TFT). Derzeit wird noch ein a-Si-TFT verwendet.

â . Zunächst wird der Gatematerialfilm auf das Borosilikatglassubstrat gesputtert, und das Gateverdrahtungsmuster wird nach Maskenbelichtung, Entwicklung und Trockenätzen gebildet. Für die Maskenbelichtung wird im Allgemeinen eine Stepper-Belichtungsmaschine verwendet.

â¡. Kontinuierliche Filmbildung durch das PECVD-Verfahren, um einen SiNx-Film, einen undotierten a-Si-Film und einen mit Phosphor dotierten n+a-Si-Film zu bilden. Dann werden Maskenbelichtung und Trockenätzen durchgeführt, um das a-Si-Muster des TFT-Teils zu bilden.

â¢. Die transparente Elektrode (ITO-Film) wird durch Sputterfilmbildung gebildet, und dann wird das Anzeigeelektrodenmuster durch Maskenbelichtung und Nassätzen gebildet.

â£. Das Kontaktlochmuster des Gate-Ende-Isolierfilms wird durch Maskenbelichtung und Trockenätzen gebildet.

â¤. Sputtern von Al usw. in einen Film unter Verwendung einer Maske zum Freilegen und Ätzen, um die Source-, Drain- und Signalleitungsmuster des TFT zu bilden. Ein isolierender Schutzfilm wird durch das PECVD-Verfahren gebildet, und dann wird der isolierende Film geätzt und durch Maskenbelichtung und Trockenätzen gebildet (der Schutzfilm wird verwendet, um das Gate, das Ende der Signalleitungselektrode und die Anzeigeelektrode zu schützen).

3. Das Verfahren zum Bilden eines Farbfiltermusters auf einem Farbfilter(CF)-Substrat

Die Verfahren zum Ausbilden des gefärbten Teils des Farbfilters umfassen ein Färbeverfahren, ein Pigmentdispersionsverfahren, ein Druckverfahren, ein elektrolytisches Abscheidungsverfahren und ein Tintenstrahlverfahren. Derzeit ist das Pigmentdispersionsverfahren das Hauptverfahren.##3,5-Zoll-SPI-LCD-Display##

Das Pigmentdispersionsverfahren besteht darin, feine Pigmente mit einheitlichen Partikeln (durchschnittliche Partikelgröße von weniger als 0,1 μm) (R, G, B drei Farben) in einem transparenten lichtempfindlichen Harz zu dispergieren. Dann werden sie nacheinander beschichtet, belichtet und entwickelt, um dreifarbige R.G.B.-Muster zu bilden. Bei der Herstellung wird die Fotoätztechnologie verwendet, und die verwendeten Geräte sind hauptsächlich Beschichtungs-, Belichtungs- und Entwicklungsgeräte.

Um einen Lichtaustritt zu verhindern, wird im Allgemeinen eine schwarze Matrix (BM) an der Verbindungsstelle der drei RGB-Farben hinzugefügt. In der Vergangenheit wurde oft Sputtern verwendet, um einen einschichtigen Metallchromfilm zu bilden, aber jetzt gibt es auch BM-Filme vom Harztyp, die einen BM-Film vom Verbundtyp aus Metallchrom und Chromoxid oder einen mit Harz gemischten Kohlenstoff verwenden.

Polyimidfilme werden jeweils auf die Oberflächen des oberen und des unteren Substrats aufgetragen, und ein Reibeprozess wird verwendet, um Ausrichtungsfilme zu bilden, die bewirken können, dass Moleküle nach Bedarf angeordnet werden. Dann wird das Dichtungsmaterial um das TFT-Array-Substrat herum verteilt und die Dichtung wird auf das Substrat gesprüht.

Gleichzeitig wurde das transparente Elektrodenende des CF-Substrats mit Silberpaste beschichtet. Dann werden die zwei Substrate ausgerichtet und gebondet, so dass das CF-Muster und das TFT-Pixelmuster nacheinander ausgerichtet werden, und dann wird das Dichtungsmaterial durch Wärmebehandlung gehärtet. Beim Drucken des Dichtungsmaterials muss die Injektionsöffnung verlassen werden, damit der Flüssigkristall durch Vakuum gepumpt werden kann.##4,3 Zoll IPS-TFT-Display##

Nachdem der Herstellungsprozess der Flüssigkristallzelle abgeschlossen ist, muss eine periphere Treiberschaltung auf der Platte installiert werden, und dann werden Polarisatoren an den Oberflächen der beiden Substrate angebracht. Wenn es eintransmissives LCD. Installieren Sie auch eine Hintergrundbeleuchtung.

Materialien und Prozesse sind die beiden Hauptfaktoren, die die Produktleistung beeinflussen. TFT-LCD durchläuft die oben genannten vier Hauptherstellungsprozesse, und eine große Anzahl komplizierter Herstellungsprozesse bilden die Produkte, die wir gesehen haben.